二手 VON ARDENNE CF 850S #9300986 待售
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VON ARDENNE CF 850S是一种高性能的溅射设备,旨在提供卓越的涂层沉积工艺。该系统是合一的,有一个用于涂层的腔室,另一个用于退火。该单元包括用于溅射目标的超精确定位机,最大可重复性为+/-0.02mm。这样就可以在大面积上形成精确的均质沉积物。CF 850S是一种锁载磁控管溅射工具,适用于提供导电、绝缘、半绝缘薄膜涂层的均匀厚薄膜。它能够以高达1500 W/in2的速率溅射,均匀度为+/-4%。该资产最多可容纳三个真空室,最多可容纳九个目标,是多层沉积的理想选择。该模型还有一个车载溅射控制单元,可以调节气流、压力、气体比、温度等工艺参数。该设备还具有简单操作的直观用户界面,以及从温度传感器和离子计到基板专用负载传感器和金属沉积控制等多种安全监控系统。VON ARDENNE CF 850S设计用于清洁环境中的操作,具有密封、隔振以及风冷和水冷的电池板,以确保安全和可靠性。腔室有一个标准的18 "x 18" x 15"工作区,对于较大的基板有一个~ 40" x 40 "x 80"的可选足迹。它的设计速度范围很广,从几毫米/秒到2000mm/秒不等。利用这种溅射系统可以以最小的材料和能耗沉积各种薄膜和涂层。这样可以灵活、经济高效地生产高质量、均匀的薄膜产品。此外,此单元还提供了一系列选项和功能,以提高灵活性,包括控制工艺参数、压力剖面和目标到基板的距离。
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