二手 VON ARDENNE CS 850S #9167930 待售
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ID: 9167930
优质的: 2002
Sputtering system
(1) Metal installation ARDENNE:
Control cabinet
(1) HL-Sputteranlage ARDENNE CS850S
2002 vintage.
VON ARDENNE CS 850S是一种用于中大面积薄膜沉积的溅射设备.该系统旨在用均匀、一致的金属、介电或陶瓷涂层覆盖基板,并为用户提供针对其特定应用量身定制的各种溅射工艺。CS 850S由阳极氧化铝和钢构成，所有部件都装在加压的不锈钢真空室内。腔室直径12英寸，长18.5英寸，可短暂疏散至150 mTorr。腔室顶部是蒸发/溅射阴极，直径9英寸，深3.5英寸，设计可容纳多达6个圆形基板同时涂层。室的下部是一个磁控管溅射源，它占用4.5 "x 4.5"的空间，为理想的沉积速率和薄膜质量提供了一个充满活力的溅射环境。VON ARDENNE CS 850S具有一个主控制器和一个集成的触摸屏显示器,用于过程监控和调整。它配有射频加热装置，可使温度达到500 °C。在控制器上可以修改沉积速率、沉积厚度、均匀性和粗糙度等工艺参数。此外，该机能够控制高达1 μ m/min的沉积速率，并且可以使用连续模式进行图样化沉积。该工具还配备了基板温度控制器、用于处理多达6个基板的资产以及若干用于操作和管理的软件程序。CS 850S设计方便用户，可供各学科的科学家和工程师快速、一致地存放均匀、优质的薄膜涂层。
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