二手 ABA FFU 1500 / 60 #9052571 待售

ABA FFU 1500/60晶圆研磨、研磨和抛光设备旨在为最关键的微电路应用生产晶圆。该系统具有高精度研磨研磨台、精密计量、全机自动化等特点。该单元在3"至8"晶片上进行快速、高精度的研磨、研磨和抛光,光洁度高达4毫升。该机基座具有高精度花岗岩基座，设计用于循环滚珠轴承滑轨的平稳运行。它还具有2000磅容量的钢制导杆,用于精确的刚度控制.不锈钢磨床采用电磁力设计，具有饱满、一致的磨削压力。磨床和床板也可以从正面和背面进入，以便于操作。FFU 1500/60还包括一个内部1600瓦圆抛光工具。这一资产的特点是抛光盘的旋转速度高达1500 RPM,并且可以在恒定压力下抛光,同时持续循环冷却剂以减少热量积累。型号的主轴能够以15,000 RPM旋转，如果主轴转速降至一定阈值以下，安全关闭功能将使机器停止运转。晶圆处理设备能够旋转角度高达360度，同时在整个过程中提供精确的定位。ABA FFU 1500/60设计用于低维护运行,节能。该系统具有质量保证流程的可调检测灯，触摸屏直观控制面板用户友好，最多可节省10个程序设置，用于自动召回。总体而言,FFU 1500/60晶圆研磨、研磨和抛光装置是满足最苛刻的微电路生产应用的理想机器。该工具具有多种高级功能,其模块化设计非常适合为各种应用程序提供最佳性能。