二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293620674 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一种全自动研磨、研磨和抛光机，设计用于预磨工艺和薄片加工。它是专门为满足半导体制造的性能和吞吐量要求而设计的。该机一次最多可加工300个直径2英寸的晶片，在短周期内提供出色的表面平面性和高屈服。TSK PG300RM配备了高精度的空气轴承主轴，允许控制和精确的研磨。研磨是通过使用主轴的多次旋转在一个通道中进行的，这样它就可以研磨每个晶圆的边缘、中心和外围区域。这种方法可以产生高表面平面度，降低晶片的经度，在单个晶片之间产生更大的均匀性。机器还有一个独特的研磨阶段，其中均匀的压力施加在整个表面上的晶圆使用一组不同大小的垫子。这种研磨技术允许比常规方法更平滑的表面,并允许更高的晶圆厚度变化公差。抛光是借助带钻石的垫子完成的，它提供了高精度、吸引人的光洁度。这一抛光阶段产生了进一步应用所需的必要表面光洁度，如薄片加工和CMP抛光。ACCRETECH PG 300RM还拥有高性能电机和多个传感器，精确测量晶圆的位置和砂轮、垫片、金刚石垫片之间的接触压力。这样就能够详细分析和消除可能降低产量的缺陷。此外，机器还配备了编程的数据输入接口，允许操作员存储设置和进程。PG 300RM是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统，具有良好的表面平面性，周期时间短，产量高。独特的研磨和抛光阶段允许更大的均匀性和更高的晶圆厚度变化公差,而传感器和编程的数据输入接口提供精确的控制和设置,以改进制造。