二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293743894 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于制造半导体晶圆。该系统由一个研磨/研磨单元和一个抛光单元组成，这些单元集成到一个工作台单元中。磨削/研磨装置可用于直径200 mm的半导体晶片的研磨、研磨和抛光。它采用9轴数控设计，提供索引、轮廓和微槽形成等专门功能。研磨/研磨单元还配备了一个闭环负载单元，用于在加工过程中监控研磨板上的负载。抛光装置的设计可提供高度精确和均匀的半导体晶片抛光，直径可达200毫米。其主要特点包括7轴运动的数控转盘，允许高精度和精细抛光。它配备了用于精确和可重复压力控制的极其精确的压力传感器，以及用于自动应用所需抛光介质的AQS机。TSK PG300RM还配备了一个集成的空气过滤工具和一个除尘器，确保无尘和清洁抛光过程。ACCRETECH PG 300RM以其首创的设计，为晶圆制备技术树立了新的标准。PG 300 RM具有独特的研磨、研磨和抛光功能,能够在半导体晶片上提供最精确、最均匀的光洁度。这使得它成为最精确、最精确的晶片制备应用的理想选择,例如制造小精密零件、薄膜和薄层,从而为该工艺带来了非凡的效果。