二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293755522 待售
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ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,专门设计用于操纵和加工硅、石英、蓝宝石等半导体和非半导体材料。适用于广泛的应用,从一般的抛光到极细粒度的精密饰面。TSK PG300RM由一个长平台和一个电动磁头组成,该磁头滑过该平台,由变速驱动马达提供动力。该机配备由两个直线轴和一个旋转轴组成的三轴级,具有高精度反馈和直接驱动控制的伺服电动机,用于精确定位。在平台上有一个抛光的钢箔,用于精确定位晶片。该机器包括一个气密的玻璃真空罩,有助于最大限度地减少气流在该区域同时允许接触晶圆。引擎盖有一个自动夹紧系统,可以容纳不同尺寸的晶片。引擎盖还包括一个冷却剂单元,将晶圆的温度保持在一定范围内。ACCRETECH PG 300RM还配有触摸屏操作员界面和直观的菜单机,引导用户完成研磨、研磨和抛光过程。它还包括用于自动操作的可编程逻辑控制器(PLC)。双面磨料圆盘可用于研磨、膝盖和抛光晶片表面。主轴电机能够以高达2500 rpm的转速固定和旋转圆盘,从而实现精确一致的研磨和抛光。空气提升工具可以方便地更换或拆卸光盘。为了确保一个一致的光洁度,主轴电机具有一个脉宽调制资产,允许改变电机的速度,同时保持恒定的力在晶圆上。机器既可以手动操作,也可以自动操作,针对每种材料类型和应用自动调整压力、旋转方向和速度等参数。它还包括自动厚度测量模型和在达到所需厚度时停止机器的自动停止功能。ACCRETECH PG300RM是一种高度先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,提供精确的控制和一致的饰面。它是一个理想的机器,用于广泛的应用,从基础加工到精细抛光。
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