二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293799621 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体、LED和光伏行业的工艺。该系统还能满足客户的研发和非金属切割磨削及抛光需求。晶圆研磨、研磨和抛光交换装置具有锁载处理和循环锁止处理功能，可提供灵活的晶圆旋转机。该工具设计用于多个晶片的窗口处理，每个窗口支持25毫米至200毫米的单个晶片尺寸，以及单个基板上不同类型的圆形、正方形和矩形切口。资产在X、Y和Z方向具有3轴加工能力,在晶圆交换过程中最多可提供6轴移动。晶片盒和托架自动交换，确保了安全可靠的过程。除了晶圆研磨外，该模型还采用各种陶瓷、金刚石和其他类型的磨料进行研磨和抛光。通过使用压力感测来控制平整度和一致的表面光洁度，保持了很高的精度。该设备配备了易于操作的触摸屏，允许手动和自动化的过程监控和控制。该系统还包括一个耐用的保护单元，以防止操作过程中不需要的物理接触，以及一个视觉机器，以自动检测裂纹和其他缺陷。该过程可以根据用户需求进一步定制，具有双向通信、支持控制和维护功能。TSK PG300RM配备了多种行业标准选项，包括3级洗涤和空气夹紧工艺、圆形处理能力、超大尺寸应用和自动喷嘴清洗。该工具还包括一个专用返回站和一个防水/防尘外壳。总体而言，ACCRETECH PG 300RM是高精度晶圆研磨、研磨和抛光工艺的理想选择。