二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9152292 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是为半导体制造而设计的高端晶圆研磨、研磨和抛光系统。这台机器具有多功能性和高度自动化的磨削工艺，能够生产出表面光洁度极好的零件。TSK PG300RM配备了9级磨头,可容纳直径达6.0英寸、厚度达1英寸的基板。磨床头由多速直驱电动机驱动，能够提供100至10,000 RPM的转速。头部的运动由三轴编码器直接监控，该编码器提供关于其研磨作用的反馈，并与伺服马达耦合。ACCRETECH PG 300RM利用金刚石涂层磨轮实现精磨。提供了一个外部压力调节器，以提高精度，允许操作员在研磨过程中为研磨头设置一个维持的特定压力。该系统还具有自动间隙和手动滑动功能,以确保砂轮不会与基板接触。该机还包括一个可以容纳1英寸最大高度和6.0英寸最大基材直径的研磨站。研磨站能够垂直向上移动至902度以调节研磨压力。研磨站可调节以容纳各种基板和尺寸。最后,该系统的特点是具有振动作用的抛光站.这是为了快速准确地抛光基板而设计的。抛光站可容纳直径达6.0英寸、厚度达1英寸的基板。PG 300RM是精密半导体生产不可或缺的工具，提供了高度的精确度和精确度，同时大大降低了生产时间和成本。