二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9183184 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一款最先进的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供卓越的质量、一致性和可重复性。该系统经过专门设计，以满足半导体工业对非常薄、易碎晶片的研磨和搭接抛光的要求。该装置采用精密晶圆研磨主轴，该主轴配有高速、高扭矩旋转金刚石车轮，可将晶圆边缘磨削至3毫秒（75 μ米），具有极高的均匀性和可重复性。采用了一种可调节的两级晶片送料机构，以确保均匀的送料角度对晶片加工的一致性至关重要。该主轴具有变速交流伺服驱动机，具有最佳研磨、研磨和抛光性能，可提供精度、稳定性和可重复性。此外，该工具包括两级研磨和抛光配置与旋转膝板。提供各种圈板,包括软、中、硬等级,以及匹配的套件,可精确控制抛光过程。旋转圈板由伺服电机驱动，提供高效、精确的抛光。TSK PG300RM配备了用于晶片装卸的高性能、计算机控制的真空卡盘。真空卡盘能够将晶片固定到8英寸方形和12英寸直径，并具有自动夹紧机构，方便晶片加载。该资产与全半导体兼容，并设有集成粒子计数器，用于实时监测工艺环境。该模型的其他特点包括一个安全外壳，以保护操作员免受灰尘和碎屑的伤害；一个可调镜照明设备，用于目视监测和验证已完成的晶圆；一个触摸屏监视器和键盘，便于系统控制/编程；以及动态冷却，以进行有效的温度管理。总体而言，ACCRETECH PG 300RM是一个非常精确、可靠和用户友好的单元，能够在晶圆研磨、研磨和抛光过程中提供卓越的质量、一致性和可重复性。它是精密微加工的首选机器，是从事集成电路生产人员的理想选择。