二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9190398 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是为半导体工业设计的全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备。它专为单面和双面加工尺寸达300毫米的晶片而设计。该系统能够对包括Silicon、Sapphire、Quartz和Copper在内的多种不同晶片进行单面研磨和研磨、单面抛光和双面抛光。TSK PG300RM包括一个有2个工件阶段的研磨/研磨台、一个抛光头、一个涂有涂层的磨料带驱动和进料单元、一个有旋转阶段的抛光板、一个抛光头倾斜控制、一个抛光布附着机和一个抛光介质/液体分散器工具。所有这些组件协同工作以提供完整的自动化晶圆处理解决方桉。该资产还具有集成的PC接口,可轻松集成到工厂自动化模型中。ACCRETECH PG 300RM利用最先进的磨料带驱动装置和进料设备将磨料带定位到研磨/研磨台上。该系统采用皮带拉紧装置，在研磨/研磨过程中，保证工件承受均匀的磨料皮带压力。工件通过气动控制单元驱动到皮带上，确保工件均匀定位在皮带上。对于单面抛光，PG300RM装有抛光头，使用倾斜机构调节抛光表面与工件的角度。这种可调节的角度保证均匀的抛光条件和均匀去除晶圆表面的缺陷。还包括抛光布附着机，使用真空将布片附着在抛光头上。这种布料附着工具在抛光过程中保证晶圆表面的均匀覆盖，以获得最佳的抛光效果。最后,ACCRETECH/TSK PG300RM使用抛光介质/液体分散器资产来控制抛光介质或浆料向工件的分布。该模型利用可调节的介质淋浴来确保抛光介质或浆料在晶圆表面均匀散布。这种均匀的分散确保了均匀的抛光结果，无论晶圆的大小或其缺陷。总体而言,ACCRETECH PG 300 RM是一款功能强大且可靠的自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足当今半导体行业的高精度和生产率要求。其先进的研磨带驱动和进料系统、可调抛光头、抛光布附着装置和介质/液体分散器机器确保在各种晶圆尺寸和缺陷上的均匀结果。此工具是晶圆处理应用的理想选择。