二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9360277 待售
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ACCRETECH/TSK PG 300 RM是当今许多领先的半导体制造商使用的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统非常适合高精度、低缺陷的应用,如硅片的制造和现代集成电路的生产。TSK PG300RM的创新设计消除了对大而昂贵的耗费磨削和抛光夹具的需求,而是使用"皮带"设计来进行磨削、研磨和抛光过程。这种灵活的设计使晶片具有精确的稳定性和最小的沉降,从而产生比传统系统高得多的产量和更低的缺陷率。要处理的晶片由一个四卡盘机械单元牢固地固定在适当的位置,该单元一次最多可容纳四个晶片,并具有可调夹紧力。该机利用两个旋转台,在样品晶片的整个表面上均匀地支撑和分配研磨、研磨和抛光过程的力。采用了一种精密的研磨研磨算法,不需要大的研磨夹具,确保高精度工件无论大小或形状。最大样品直径为300毫米,尺寸调整可在± 30微米内公差。ACCRETECH PG 300RM还提供具有视觉检查功能的自动检查,包括表面评价和特征提取。该工具还提供了范围可偏移抛光选项,包括镜像、马特、直角和横角。抛光资产还能以极低的成本实现高精度、高品质的饰面。此外,ACCRETECH提供的自动装卸能力PG300RM进一步提高吞吐量和可靠性。PG300RM晶片研磨、研磨和抛光模型是一种功能强大、精密的设备,能够在几乎任何用例中产生高质量的结果和低缺陷率。该系统具有自动检查、可调节磨削和研磨力、可调整抛光力、自动装卸等特点,能够快速一致地提供优异的效果。
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