二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9396416 待售
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ID: 9396416
优质的: 2007
Grinder
Grinder stand (NCIG Mounting application)
(9) Wafer recipe functions
Grinder: 5SEP function
RM300 Vaccum generator
RM Stand:
H-4 Stand
Mount stand
Peeling stand
Cleaning unit
Includes:
Vacuum pump
UV Power supply
Slurry unit
Chiller unit
2007 vintage.
ACCRETECHACCRETECH/TSK PG 300 RM是为半导体器件开发的全自动、精密晶圆研磨、研磨和抛光设备，如III-V化合物、mems和离散器件。该系统具有独特的专有特性-自动再循环晶圆映射Unit™ （ARMS）,可提供卓越的背面晶圆平整度和高通量。TSK PG300RM能够研磨、研磨和抛光直径达300 mm的多个晶片。这台机器利用压力辊在晶片上施加均匀分布的载荷，从而形成平整、均匀的抛光背面，表面粗糙度最小。对于更具挑战性的基板和应用,该工具能够实现低至10 nm边到边总厚度变化（ETTV）的平坦度。该资产专为超高速晶片处理而设计,速度高达18,000rpm,精确旋转控制为+0.00025°。它采用自动配方，允许用户按照定义的程序保存参数和处理晶圆。它配备了一个装载站，确保一个以卡盘为中心的安全晶片，减少皱纹和裂纹损坏。它能够一次处理多达四个晶片，减少研磨、研磨和抛光步骤之间的等待时间。对于更苛刻的应用，ACCRETECH PG 300RM包括七区循环模式，可以进一步减少总循环时间。总体而言，PG300RM是一种先进的自动晶圆研磨、研磨和抛光模型，专为大型基板而设计。该设备提供卓越的表面平整度和卓越的吞吐量,从而提高了III-V复合材料、mems和离散设备的产量和最佳质量。
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