二手 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9399556 待售

ACCRETECH/TSK PG 300 RM是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于半导体晶圆的精确尺寸和粗糙度控制。双头系统以4轴台面同时研磨和抛光直径从30mm到300 mm的晶片，实现了不预先开槽的高质量水平。该装置采用冲洗罐，设计用于晶片的全浸入处理，并具有集成的介质充电和化学进料机。这确保了安全的潮湿过程，没有空气中的颗粒或污染。该工具适用于范围广泛的晶圆材料，包括硅、砷化​​氙（GaAs）、氮化氙（GaN）、monCrystal硅和氙等。晶圆研磨抛光设备配有交流伺服电机和闭环线性伺服电机驱动系统，以及精密的线性导轨，提供高精度、重复性和可靠性。采用CCD摄像机和激光测线模型,保证了正确的抛光参数.该设备还具有运动控制软件和数字控制器，可在研磨和抛光头之间进行切换，并设置工艺参数。TSK PG300RM配备了10英寸触摸屏显示器和数据处理PC，使用户可以监控和控制整个研磨过程。该系统的特点是有一个Overarm Dressing Automation单元，自动检查和校正磨削条件，以便更好地重复性和提高工艺稳定性。该机还配备了Coolant压力控制工具，允许精确的磨料悬挂。ACCRETECH PG 300RM易于操作和维护,具有自动晶圆检测和断裂确认功能.它还具有成本效益，因为它可用于处理多个晶片，具有高产量率和质量水平。该资产适用于研究和工业应用，适用于各种基材和应用，效果优异。