二手 ACCRETECH / TSK TS-6W-R #9223099 待售

ACCRETECH/TSK TS-6W-R是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是在短时间内达到高精度结果。该系统能够通过调整研磨和抛光参数来生产表面粗糙度在0.1 µm或以下的晶片。由于研磨板之间的最优平整度，该单元获得的层干扰平整度± 0.01 µm。TSK TS-6W-R是一种6英寸晶圆研磨、研磨和抛光机，具有处理从硅到氮化的广泛材料（GaN）的能力。该过程在温度受控的清洁室中完成，压缩空气环境使污染的可能性降至最低。易于使用的触摸屏面板允许操作员根据需要调整研磨、研磨和抛光参数。该工具配备了两个摩擦式主轴驱动器和两个控制机器人手臂水平运动的主轴导板。这允许机器人在保持晶片平整的同时移动，以便研磨和圈住晶片。该资产配备了一个高分辨率摄像头，使操作员能够在研磨和研磨过程中查看晶片的进度。ACCRETECH TS-6W-R模型包含一个计算晶圆表面粗糙度的直接反馈传感器和一个可测量晶圆表面离散点粗糙度的粗糙度测量单元（RMU）。该设备还包括一个独特的除尘系统，它通过收集研磨过程中的所有灰尘来保持环境清洁。TS-6W-R单元由带频率驱动器的三相交流电动机和三相交流电动机提供动力,以确保磨削、研磨和抛光过程得到一致执行。该机设计方便地配置研磨、研磨和抛光参数，以满足不同类型材料加工的要求。最后,ACCRETECH/TSK TS-6W-R是一种通用的晶圆研磨、研磨和抛光工具.它能够处理各种材料，具有高分辨率相机和有助于保持环境清洁的除尘资产。该模型旨在轻松调整研磨和抛光参数,以便在短时间内获得一致的高精度结果。