二手 ACRA RS 618 #79387 待售

ACRA RS 618是一种先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于精细加工和抛光半导体晶圆，从刚切成薄片的晶圆到关键的高级图样要求。这种机械采用顶端的范围主轴设计，具有卓越的精确度和表面光洁度，可以支持单面和双面加工，并且可以支持直径可达300 mm的晶片。RS 618的核心是磨削抛光机构，其设计目的是确保精确的性能。它采用由高速无刷直流电动机驱动的金刚石装饰主轴,并以高达5000 RPM的可变速度运行。主轴支持可互换的扁平、旋转和杯轮，以适应各种直径和应用要求。该系统还包括机器人装卸功能，允许高效、自动化的晶圆处理。ACRA RS 618的晶片处理能力能够同时处理平地晶片和接地晶片，并能够支援Si、Ge、氮化​​氙（GaN）等多种材料。加载和卸载机器人由精确的开环步进电机驱动，能够准确、快速地定位晶片。为了获得更好的控制,RS 618包括全套自动和手动控制功能。这样就可以实时对工艺参数进行密切监控和调整,并方便晶片之间的快速转换。该单元还通过其强大而直观的触摸屏HMI为所有研磨、抛光和机器人操作提供用户友好的编程。ACRA RS 618效率高,产生的结果远远优于手动处理,并且在设计和构建时考虑了所有主要的全球安全法规。它是一种坚固可靠的机器，可用于自动晶圆研磨、研磨和抛光，在最高晶圆质量水平上提供可靠和可重复的结果。