二手 ALPSITEC MECAPOL E550 #293822793 待售

ALPSITEC MECAPOL E550
ID: 293822793
优质的: 2019
CMP System 2019 vintage.
ALPSITEC MECAPOL E550是一种高级生产级晶圆研磨、研磨抛光设备.该系统用于抛光单面和双面晶片,其直径可达200 mm,低至1 μ m平坦,低至0.5 μ m表面粗糙度。只要适用,它最多可容纳12个晶片。该单元包括一个电动机驱动的磨头,结合了坚固,高速研磨主轴和精密脚踏板。可调压力控制器确保在操作过程中正确保持研磨压力。可达到的压力范围在0.005-1.5N之间,而旋转速度在0.5至300 rpm之间。总旋转力最大化至37.2mN。该机还装有循环控制计数器,以准确监控晶圆加工周期的进展。该工具还包括专用组件,如用于快速切屑和除尘的吸尘器,以及工业级空气干燥器。此外,还使用一系列传感器、限位开关、压力传感器和其他相关组件来确保资产的正常可靠运行。MECAPOL E550在抛光时非常精确高效。它经济友好,可以快速设置和操作,以便立即使用。综合安全协议保证模型以安全的方式运行,因此只有经过适当培训和专门知识的人才能使用这些系统。此外,综合维修设备还可以方便快捷地进行维修。ALPSITEC MECAPOL E550具有出色的抛光效果,最大地板平整度为1 μ m,最大表面粗糙度为0.5 μ m,最小研磨时间为0.2h。其高效的设计确保了最低限度的能耗,使其成为那些希望在获得卓越性能的同时节省成本的人的理想选择。该系统可靠,易于使用,提供无与伦比的精度和精确度。
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