二手 AM TECHNOLOGY ADL-1000 #9137904 待售

AM TECHNOLOGY ADL-1000晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种自动化材料处理系统,旨在高效、精确地研磨、研磨和抛光晶圆,用于半导体、太阳能和其他应用。该单元的特点是一台输送机，一次最多可输送四个、六个或十二个晶片，允许在人工方法的一小部分时间内处理大量晶片。ADL-1000的晶片尺寸可达二百五十毫米，可研磨厚度达六千米的晶片。该刀具采用由电动机驱动的固定磨轮，能够产生稳定的、低力的磨削运动。上下研磨头由步进电机和编码器精确控制，因此研磨力保持不变。AM TECHNOLOGY ADL-1000还采用了一种正在申请专利的高精度非接触式传感器,该传感器在晶圆进入研磨站时监视晶圆的厚度。这样可以确保研磨过程不仅准确，而且可以重复。研磨设备采用集成的高效空气磨损喷嘴，能够在整个晶片上产生均匀一致的研磨表面。该模型采用压力平衡转子,可产生较高的研磨速度和速率,同时显着减少振动,并在最小停机时间内达到最佳平整度。研磨站还包含一个传感器，用于监视晶片表面，以保持均匀的光洁度。抛光设备采用可调节、设计的多轴头，保证正确的压力和速度，达到最佳效果。该系统采用压板机构进行柔性范围的运动，允许最优的力和压力控制。此外,ADL-1000的顶置抛光轮可达到1000 rpm的转速,并采用低强度设计,以最大程度地减小晶圆上产生的任何应力。AM TECHNOLOGY ADL-1000是一个综合性和多用途的单元,它利用先进的自动化过程和技术来提高效率并降低与各种材料加工应用的研磨、研磨和抛光晶片相关的成本。凭借其可靠的运行、用户友好的界面和高精度的元件，ADL-1000是半导体、太阳能和其他晶圆处理应用的理想选择。