二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9075137 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨研磨抛光设备是一种多功能系统，最大晶片直径200 mm，最大晶片厚度6.5mm。这种自动化设备非常适合需要高性能和高精度的应用,同时还能最大限度地减少浪费。机器包括一个单一的基板支撑与一个可调驱动轮，有助于控制晶圆转速。基板支撑支持在一个线性运动阶段上，允许在研磨、研磨和抛光过程中对基板进行精确的三维定位。此外，该工具还配备了一个提取器，有助于保持加工室的清洁度，同时也将研磨材料从晶圆上移开。该资产能够研磨、研磨和抛光速度范围高达35,000 RPM的扁平和半径晶圆。先进的动态转子利用离心力在整个研磨循环中对磨料介质施加适当的研磨力，确保从基板表面均匀去除材料。该型号还提供两个可用于特殊应用的抛光头。第一个喷头设计用于一般抛光，并装有喷气清洗设备，最高使用速度可达10,000 RPM。第二个磁头是高分辨率抛光机，用于更精细的光洁度和更精细的材料去除。该系统还提供高级工艺监控功能，提供工艺时间、研磨力和磨料粒度等实时信息。这有助于消除浪费并确保高质量的结果。此外,该部门的高级自动化功能支持半自动化流程,从而减少操作员的参与并提供更大的流程控制。总体而言，AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和抛光机是一个完美的解决方桉，适用于需要精确和可靠的应用。该工具的动态转子、高分辨率光电传感功能和先进的自动化功能都有助于提高其高性能和准确性,而其先进的过程监控功能则有助于最大限度地减少浪费并确保始终如一的高质量结果。