二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9231620 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和抛光设备是一种通用的系统,用于半导体材料如硅和砷化的精密超光滑抛光和研磨。该装置旨在提供优越的表面平面度和缺陷减小，从而提高生产吞吐量和优化晶圆平整度。AKT Mirra Mesa机是一种全自动工具,具有一系列运动电源头,可实现单轴和多轴精密抛光。其前瞻性设计允许整合额外的工作模块，在这些模块中，用户定义的流程可以沿着生产链实施。这项资产还具有几项突破性的性能指标，包括仅10秒的周期时间、高达5微米的高刚度和精度精度，以及优于0.1微米的位置精度。此外，该模型还有一个集成的冷却剂输送设备，确保工艺温度保持在预定义的范围内，这有助于优化质量和产量。AMAT Mirra Mesa系统具有多种安全功能,可帮助保护操作员和环境免受任何危险过程材料的侵害。这些功能包括可锁定的过程中安全互锁、轻型窗帘和双手安全握把单元。综上所述,Mirra Mesa晶圆研磨、研磨和抛光机是一款用途广泛、功能强大的工具,为半导体材料的精确、高质量的研磨和抛光提供卓越的性能指标和安全特性。此资产可用于单轴和多轴抛光,并具有集成的冷却剂输送模型,可将工艺温度保持在最佳范围内,从而获得最佳效果。