二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / AMJ Mirra 3400 #293606439 待售
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ID: 293606439
优质的: 2001
CMP System
(4) TITAN, 8"
(3) Chamber carriers
(3) Coated platens, 20"
ISRM enabled, 20"
Peristaltic pumps
(2) Per platen
(4) Wet cassettes, 8"
Wet in wet out capable, 8"
E/P Regulator setup on the cross
Port rotary union
Typical wear and tear
Does not include Nova patterned recognition unit
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AMJ Mirra 3400是一款先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,提供卓越的性能、精度和可重复性。这种最先进的设备为整个过程控制和系统优化设定了行业标准。AMJ Mirra 3400配备了一整套自动化功能和组件,可确保精确、可重复的结果。这包括先进的运动控制单元、伺服控制流体泵、实时温度控制，以及用于晶圆精密研磨抛光的独立压力和真空调节。该机还配备了一个反应灵敏的动态压力控制工具，可以自动调整和优化压力分布，以提高效率和最大限度地减少材料损失。该资产旨在适应各种工艺配置，如单面或双面研磨和浆料抛光技术。它的模块化设计允许用户使用额外的组件来定制模型，如背磨附件和压力测量装置。为了最大程度地方便用户,AMAT Mirra 3400与AMJ TrueView图形用户界面（GUI）集成在一起。这使得用户可以通过直观的显示，轻松实时地监控和调整抛光工艺的设置。此外，该设备还配备了一系列先进的安全功能，包括一个近距离传感器，用于监测研磨和抛光操作，并确保所有部件在操作过程中保持静止。Mirra 3400还包括一个串联振动控制系统和一个声学监测单元，用于检测机器故障，提醒用户注意任何潜在问题。这款来自AMAT的功能齐全的工具非常适合生产当今用于精密光学的高性能晶片和微透镜阵列。这项资产提供可靠和准确的结果-保证卓越的产品质量,提高过程效率和可重复性.
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