二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9113497 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，能够处理多达八英寸（200毫米）的晶圆。该系统的工作原理是先用金刚石研磨工具研磨晶片，然后用金刚石圈研磨，最后用松散的金刚石磨料抛光，形成平坦光滑的表面。AMAT CMP 5201包括一个机器人晶圆机械手、一个装有两个介质罐的介质柜和两个清洗系统。晶圆机械手具有完全可调的伸展臂，具有自动和手动加载模式。这允许精确定位和可重复操作。媒体柜由两个坦克组成，分别用于从一侧向另一侧研磨、拉圈和抛光晶片。坦克还配备了自动和手动控制，以便于操作。清洁系统通过在研磨、研磨和抛光循环之间自动清洁介质罐来减少停机时间。此外，该单位还配备了空气质量监测仪，以提高安全性和减少对环境的影响。APPLIED MATERIALS CMP 5201的研磨研磨工艺旨在通过从一侧去除材料而使另一侧保持不变来细微改变晶片的表面。为此，该机采用了各种尺寸和形状的金刚石涂层磨轮。磨削介质的砂砾尺寸将手动调整并监控以获得所需的结果。研磨过程后，将晶片研磨，进一步调整表面轮廓，使其变成光滑均匀的光洁度。用于研磨的金刚石比研磨过程中使用的金刚石小，并以较低的压力施用，以完成晶圆的表面。最后，晶片用松散的金刚石磨料抛光，进一步平滑表面，使其具有明亮的反光光洁度。CMP 5201是一种多功能、坚固的晶圆研磨、研磨和抛光工具,能够为各种应用提供一致、高质量的结果。它可调的机械臂、介质罐和清洁系统使机器易于使用，长期使用可靠。此外，它的空气质量监测确保操作安全和环境影响最小化。因此,AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是在晶圆抛光操作中实现高质量结果的有效工具。