二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP 5201 #9233177 待售
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已售出
ID: 9233177
优质的: 2003
System
With heat exchanger
Load cassette type: Ergo loader standard cassette
Controller / Computer type: Windows XP
Polish process: Glass & SU8 for MEMS devices
Polish heads: (4) Titan II Heads
(3) Platens
No inline metrology
Wafer scrubber: Mesa type scrubber
Spray type: Brush
Slurry feed: Bulk feed
Pad conditioner arm type: DF3
Slurry flow controller type: Capillary
No endpoint detector
No ISRM
Balanceworks upper pneumatic upgraded
CE-Marked
Power supply: 208V, 3-Ph, 50/60Hz
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CMP 5201是一种高度先进的精密工程晶圆研磨、研磨和抛光设备。它旨在为各种晶圆尺寸和类型的应用提供最佳性能。该系统配备了先进的研磨板控制单元(LPCS),使用户能够准确调制整个研磨过程并控制表面纹理。LPCS提供了对研磨板和晶片之间压力的精确控制,从而提高了精度,改善了表面质量。它还使用户能够运行各种磨削配方,以最大限度地提高工艺产量、减少间隙并实现所需的表面光洁度。AMAT CMP 5201可以装载各种抛光材料,采用颗粒或流体悬浮液。也可用于应用各种溶液和化合物如光致抗蚀剂。这些溶液可以应用于层状晶片,使晶片表面能够按照追捧的轮廓进行修改和抛光。该机采用两个磨头,进一步促进了预磨、粗磨和精磨等多步磨削作业。该刀具还具有独立的电机控制器,可改进对磨削速度的调制控制。这样可以实现更精确和一致的研磨,从而获得更好的性能和更高的产量。易于编程的选择菜单使用户能够快速调整和微调流程参数,并最大限度地减少大惊小怪。APPLIED MATERIALS CMP 5201的许多特性结合在一起,使其成为晶圆加工操作的理想解决方桉。它适用于广泛的应用,能够产生最高质量的结果。该资产是为低噪声操作而设计的,减少了环境污染的可能性,同时也提供了更愉快的工作体验。CMP 5201是高精度晶圆研磨、研磨和抛光操作的绝佳选择。
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