二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa #293655977 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa是用于半导体器件和元件制造的理想晶圆研磨、研磨和抛光设备。它能够加工多种基材，包括但不限于Si、Ge、III-V和PCB材料。它为传统和先进的CMP流程提供了全面的一站式解决方桉。磁头由八个具有独立工艺参数的不同磨头和八个工艺模块组成，为用户提供晶圆研磨、研磨和抛光方面的非凡灵活性。平台的高精度、多轴主轴提供高达500 RPM的转速，可以根据需要进行调节，以确保一致且可重复的抛光效果。其高扭矩、长占空比的主轴设计为微纹理研磨抛光工艺提供了稳定的基础，使用户可以制作平面和不均匀的表面。头部还配备了主轴冷却系统，有助于减少主轴磨损，从而延长工艺运行时间。AMAT CMP Head具有单一晶片搅拌磨削（ITG）技术和区域研磨能力,可提高晶片通量和改善表面质量。它还提供了可拆卸的单端口和双端口处理选项以及自动宽度调整选项。双端口选项允许在同一基板上对不同材料进行分层，使其适用于多层设备的生产。Mirra Mesa的AMAT CMP Head配备了专门的PLC和HMI界面，提供图形用户界面和手动控制操作，以及编码功能和实时过程监控选项。它使用户能够在刀具设置和实际过程中节省时间,因为它能够存储多达50个重新循环的配方,从而减少了在周期之间重新加载参数设置的需要。APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa还提供了一系列安全功能。它提供了电源倒置联锁安全开关、灯帘和安全垫，以确保操作员的安全。此外,该单元还提供一系列监控功能,如视觉摄像头、自动胶片检测和模眼,以确保对每个抛光晶片的质量控制。此外,该机器还提供了一系列选项和升级,包括自适应电源控制（APC）功能和自动晶圆识别,以便于晶圆跟踪。该工具还可以与其他APPLIED MATERIALS模块（如Hazimark模块）或其他提供的或第三方系统集成,用于无缝自动化晶圆制造过程。