二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Counter head for Reflexion #293667549 待售

反射晶片研磨、研磨和抛光设备的AMAT Counterhead旨在为用户提供高度精确的高速研磨、研磨和抛光晶片。Counterhead与Reflexion核心机配合使用，以有效引导和控制过程。Counterhead组件由四个与系统集成的摩托化轴组成,为晶圆研磨、研磨和抛光过程提供必要的功能。Counterhead使用两个主要的机动轴：Y轴和X轴。Y轴是安装在设备框架上的电动线性运动轴。这有助于研磨操作所需的线性运动。这个相同的轴也将主轴移动到晶圆上方，以便将其定位用于研磨和抛光过程。X轴是一个转向轴,用于操纵主轴并支撑主轴,同时提供精细研磨和抛光操作所需的精度。Counterhead还具有两个附加的电动轴,它们与两个主电动轴结合使用。这两个附加轴称为旋转轴和螺距轴。旋转轴是允许磨削/抛光主轴连续旋转的电动旋转运动轴。这对于在抛光过程中实现晶片表面的均匀性至关重要。螺距轴用于使研磨/抛光主轴的运动与Table Z-Axis同步,以确保在研磨和抛光过程中主轴始终正确放置在晶片上。台面利用精密控制元件进行高精度的研磨和抛光操作。其设计优化晶圆运动、驱动运动和台式速度。机器内的所有摩托化轴都经过精确同步,并提供最高级别的性能。Counterhead还具有直观的用户界面,使操作员能够轻松地设置和调整研磨/抛光工艺的参数,从而最大限度地提高效率。反射晶圆磨削、研磨和抛光工具的应用材料对位是反射资产的重要组成部分。其精确的高速机动化轴使晶圆的精密和高度精确的研磨、研磨和抛光能够创建均匀和干净的表面,用于各种应用。