二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #293614950 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa是一种自动化的闭环机器人设备，用于晶圆和其他半导体材料的制造、研磨、研磨和抛光。它采用了最新的现场过程控制技术,允许优化步骤和重复过程的几何形状,从而确保最高精度和可重复性。该系统设计用于处理具有各种基材类型、形状和尺寸的晶片。该装置配备了先进的机器人控制机器以及多个运动轴和一个用于晶圆处理的机械臂。该控制工具可用于编程各种表面制备操作，如研磨、研磨、抛光和抛光。机械臂将晶片定位在研磨块上，允许每个单独晶片的精确和可重复定位。该资产还包括一个太阳能电池检测站，以验证每个加工过的晶圆在晶圆接合前没有缺陷。还提供了基板运输和装载模型，以促进最大限度地利用设备的能力。机器人控制器和基板传输系统可以与光学检查、电阻测试和热成像系统等其他自动化系统集成。还包括晶圆研磨、抛光和抛光站，研磨石块、磨料和工作产品可通过设备的多轴机械臂装卸。该站能够产生各种各样的抛光表面，并且可以根据特定工艺的需要进行定制。机器可以与一个环境室连接，允许在受控的、无污染物的大气中加工和检查晶片。该工具的污染控制机制包括使用环境室、温度和湿度监测和控制以及粒子计数。此外，资产的真空模型可以疏散腔室，确保低污染环境。AMAT Mesa设备是用于晶圆和其他半导体材料的制造、研磨、研磨和抛光的可靠且高度先进的系统。其精密的机器人控制单元允许对每一个晶片进行可重复、量身定制的处理，而其全面的污染控制机制则确保只生产质量最高的晶片。