二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107 待售
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ID: 9295107
晶圆大小: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa设备是晶圆研磨、研磨和抛光系统。它提供高精度、高通量的晶圆研磨、研磨和抛光工艺操作，并提供最高水平的精度和可重复性。该单元可配置为单次进行多次研磨、研磨、抛光和蚀刻后清洗操作，非常适合以多种格式处理不同类型的半导体和光伏晶片。AMAT Mesa机在精密工程铝制框架上使用多级磁力万向节台。这样可以确保每张桌子都经过精确校准,从而实现一致和可靠的研磨、研磨和抛光工艺。该工具具有低调的设计,允许最大限度地使用表来处理各种晶圆尺寸。APPLIED MATERIALS Mesa资产还具有易于使用的控制器,能够精确设置研磨、研磨和抛光参数。Mesa模型还具有许多安全功能,可增强操作员的安全性。这些功能包括用于操作员监控的标准摄像机、信号视觉,以便操作员能够从异地监视过程,以及在检测到不安全情况时发出信号警报。该设备还具有限制台面速度的能力，以及在研磨和抛光操作进行时限制扭矩传递的能力。这样可以确保材料的安全处理。AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa系统在称为Z-CT063的专用软件上运行,该软件可启用预设操作参数并允许自定义参数配方。这样可以确保每个操作都能一致、准确地执行。AMAT Mesa单元上提供的其他高级功能涉及进程监测，包括反向清洁能力，有助于减少作为进程一部分需要进行的清洗数量。总体而言,应用材料梅萨是晶圆研磨、研磨和抛光操作的理想解决方桉.其现代化的设计，易于使用的控制和众多的安全特性，使其成为半导体和光伏产业的优越选择。
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