二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1 #9114847 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1晶圆研磨、研磨、抛光设备提供晶圆表面几何参数的精确控制，以方便先进的半导体研究和测试/生产应用。该系统具有沿多个轴的全系列电动运动，并能够生产尺寸可达8英寸的最终平面化晶片。AMAT Mirra 3400 Titan 1配有集成的晶圆带单元，并设计有高精度的无振光表。它旨在在补偿机器机械部件引入的干扰的同时促进精确运动。APPLICED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1能够进行高精度的精密研磨和抛光工艺,包括抛光,以满足超光滑的表面地形标准。配备无刷伺服电机，高速精准运动，动力控制和优越的轮廓可控性。嵌入式机器视觉摄像机自动检测晶片边缘，用于晶片对晶片的精确处理。嵌入式机器视觉功能还包括自动晶片定向性能、识别用于匹配生产程序的中心和离群晶片。该工具由一个刚性铸铝合金底座组成，该底座经过温度补偿，以确保资产的热稳定性。此特性还有助于目标导热系数和改善声音衰减。Mirra 3400 Titan 1配备了先进的触摸屏控制模型,可监控工艺参数,并可精确控制研磨/抛光速度、方向和结果。该设备还旨在最大限度地减少清洁要求和停机时间。它利用液压抛光头进行有效的晶圆运输、操作和处理。该系统配备了一个温度排气罩，分散来自机组的热量，减少空气中的污染。此外，封闭的工作室经过过滤和加压，防止空气中的污染物逸出。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 Titan 1晶圆研磨、研磨、抛光单元的先进设计在研究和生产应用中提供了精密高效的晶圆表面加工。它是先进半导体加工的理想解决方桉，允许晶圆的精确研磨和抛光，而不会带来太多噪音或污染。