二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9025888 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400晶圆研磨、研磨和抛光设备结合了先进的工程和高质量的制造，提供了完全集成的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉。该系统专为高吞吐量和优越的表面质量而设计,适用于要求最高精度和精度的加工应用。该单元非常适合半导体、光电和MEMS制造过程。AMAT Mirra 3400采用全自动物料处理机,可最大限度地提高过程吞吐量和效率。该工具能够处理各种晶圆大小和形状,并且可以直接支持多达四个工作模块。每个模块都包括自己的机器人，方便晶片的快速装卸。晶圆研磨、研磨和抛光部分包括数字微速控制资产,可在一定速度范围内调节,并具有减振空气轴承主轴,可提供卓越的表面光洁度。研磨主轴既可用于金刚石研磨，也可用于CBN研磨。研磨和抛光级采用高力和可编程转弯、速度或扭矩控制设计，具有可靠和可重复的性能。APPLIED MATERIALS Mirra 3400还包括集成的模型控制器和用户友好的操作员界面，用于监视、控制和调整所有设备参数。这使用户能够轻松配置其流程设置并实时查看系统状态和数据。该单元还包括一个集成晶圆预对准站，以提高工艺均匀性。此外，该机还提供了一个集成的粒子测量站，可用于精确分析过程中各个阶段的粒子污染。这样可以确保工具的过程结果可靠且可重复。该资产经认证符合洁净室要求以及所有主要安全标准。Mirra 3400晶圆研磨、研磨和抛光模型是各种制造工艺的理想交钥匙解决方桉,提供卓越的性能、准确性和吞吐量。该设备提供了一个全自动的过程解决方桉,可在满足最严格的安全和质量标准的同时,以无与伦比的速度和产量实现一致和可重复的结果。