二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9161619 待售

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ID: 9161619
CMP Head.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一款最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足最先进的微电子制造工艺的要求。这套综合系统能够进行广泛的操作,从CMP到单面研磨,再到双面抛光,还有许多其他的工艺步骤。这种先进的装置旨在满足超高精度研磨、研磨和抛光方面最苛刻的微加工工艺要求。机器的独特特性和先进技术使其成为精细研磨、研磨和抛光的杰出工具。例如,其精细的研磨平台能够确保优越的晶片对晶片的重复性和平坦性水平,同时消除工艺的可变性和污染。大的吞吐量能力,每8小时轮班多达3,000个晶圆,使得AMAT Mirra 3400成为大批量生产环境的杰出选择。APPLIED MATERIALS Mirra 3400还具有无与伦比的数字过程光纤控制(DPFC)功能,它将关键过程条件转换为一个易于理解的图形显示。此DPFC功能可自动跟踪集成过程变量,并帮助操作员快速解决过程难题。Mirra 3400设计用于最大程度的工艺和污染控制。精确设计的密封板有助于在工艺室内部创造接近超高的真空环境。加上湿度和温度等环境控制,这有助于最大限度地减少与抛光工艺相关的副产品。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400适用于广泛的单面和双面研磨、研磨和抛光应用。它配备了QuadraPol、RAFFIA等行业领先平台,能够提供超高研磨、研磨和抛光性能。高级流程传感器(包括表单检测器)、3D扫描仪和其他传感器可在整个流程中提供流程反馈。AMAT Mirra 3400是微电子制造商的理想选择,他们正在为其超精密研磨、研磨和抛光工艺需求寻找可靠、高效的解决方桉。其先进的特性和技术、高通量的能力以及稳健的工艺和污染控制,使其成为现代生产线的终极选择。
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