二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9180955 待售

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ID: 9180955
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
CMP System, 6" Round wafer Silicon oxide Polyimide A-Si Wafer thickness: 380 – 1.200 microns +/- 15 microns Electric data: 208 V, 200 A, 45 kVA, Standby 6.5 kVA 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一款晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于实现半导体制造材料的高表面质量和尺寸精度。它被设计用来加工硅、氮化零、蓝宝石、金刚石等材料。Mirra能够处理直径不超过200毫米且厚度范围在0.5-3.5毫米之间的晶片。AMAT Mirra 3400采用双面研磨机制备技术,在晶圆两侧产生平面和镜面,最多可容纳四个磨盘。该系统配有先进的机械臂和计算机控制的磨头,以确保精密的研磨和抛光可重复性以及均匀的表面饰面和均匀的研磨深度。APPLIED MATERIALS Mirra 3400还附带了一个先进的控制单元,用于自动晶圆测量、过程控制和操作员安全。它具有实时处理参数的图形用户界面,如输入、输出和当前晶圆位置、研磨压力和安全设置。Mirra 3400包括用于过程监控和质量保证的集成视觉机器,以及自动研磨功能,可确保所有样品表面的准备一致。内置研磨参数包括研磨深度、研磨速度和研磨工具。视觉工具与研磨控制器集成在一起,可以精确测量地面。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400提供广泛的研磨、研磨和抛光功能。它的用户友好界面和模块化设置使其非常适合工业应用和研究应用。它能够对各种材料进行精密研磨和抛光,如硅和氮化氙,从而创造出更适合后续芯片加工的均匀表面。AMAT Mirra 3400旨在提供完整的工艺能力,具有精确的位置控制以及精确的表面均匀性。研磨能力能保证研磨表面的精确深度和均匀性,从而确保精密抛光操作,不会损坏晶片。APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一种高度精确和坚固的机器,可持续运行并执行精确操作。它配备工业级电动机和电子设备,最大限度地提高磨削和研磨性能,并确保最终产品的质量和一致性。
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