二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9181998 待售
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ID: 9181998
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Polisher, 8"
Cassette que: (4) Wets
Handling: Wet in / Wet out
(3) Platens
(4) Polish heads
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry configuration: A, AB, C
ISRM P1: Full scan
ISRM P2: Full scan
ISRM P4: Full scan
UPA: IT/RR/MEM/EC
UPA Supply: Nitrogen gas
Head types: Profiler (Titan II option) / Titan I/W+
Head ring material: PPS
Pad conditioner: DDF3
Min/Max platen speed: 0 - 125rpm
Min/Max head rotation: 0 - 125rpm
Head sweep range: 4.2 - 5.8
PC Sweep range: 1.7-9.0
Min/Max PC rotation: 0 - 125rpm
Min/Max slurry flow: 50 - 240ml/mn
Min/Max head pressure: 0.5-14psi
Min/Max PC downforce: 3.0-17lbf
Endpoint software: IS11e9
Polisher software: PS50g0
Hard drive configuration: NT4.0/68 pin SCSI
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于半导体基板的表面制备和精加工。AMAT Mirra 3400旨在提供手动和自动化操作,以及在单个平台上的各种研磨、研磨和抛光操作。系统可以处理多种基板尺寸，从150毫米到450mm。APPLIED MATERIALS Mirra 3400提供四种不同的研磨操作,允许用户以最短的安装时间和各种抛光操作（包括最均匀表面的单面或倾角抛光操作）从表面研磨切换到边缘研磨。该装置能够研磨非圆形基板，消除应力，允许更精确的加工。Mirra 3400还能够自动制备和抛光表面。机器配备了全自动的可编程进料工具和自动线性抛光，让用户从头到尾控制整个过程。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400的高级软件还允许对参数进行微调,从而无需繁琐的手动校准。AMAT Mirra 3400具有模块化设计,便于升级和灵活性。资产可以迅速重新配置，以便使用多种研磨、研磨和抛光部件，包括金刚石和金刚石溷合垫、水浸和飞溅以及表面活性剂分配器。有关更多信息,APPLICED MATERIALS Mirra 3400包含磨削和抛光循环及参数的综合数据库。最后,Mirra 3400已通过安全认证,具有ESD保护和安全机箱,能够安全运行。该模型还提供环境保护，配备除尘设备，含有液体过滤，并在发生任何意外情况时自动关闭研磨和抛光工艺。
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