二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9272624 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400
ID: 9272624
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于处理各种晶圆尺寸和基板。它的高级设计允许轻松高效的操作,这使得它非常适合苛刻的生产环境。该系统配备了先进的研磨工艺,使用化学机械平面化(CMP)从基板表面去除材料。采用这种方法,能够降低表面粗糙度,提高工件的平面度。也可用于进行各种抛光工艺,如金刚石和氧化铝抛光。这可以用于实现高水平的表面均匀性,以及提高晶圆表面的附着力和耐磨性。AMAT Mirra 3400是围绕一个闭环单元设计的,它利用高效夹紧机在晶片处理过程中将晶片牢固地固定到位。这样就不需要手动装卸晶片,减少了工件丢失和污染的机会。此外,它还具有自动控制工具,可帮助确保资产以最佳性能状态运行。该型号还配备了多种安全功能,以帮助确保运行安全,不会损坏加工材料或操作员的风险。例如,APPLIED MATERIALS Mirra 3400有集成的安全锁和警报设备,以及操作员发起的联锁系统。此外,它还包括一个冲击传感器单元,它可以检测机器何时在其正常工作参数之外运行,并相应地向操作员发出警报。此外,Mirra 3400还能够实时精确测量研磨过程中晶圆的厚度。这允许操作员对过程进行校正,以便更好地满足公差和规格。最后,此机器设计为易于集成到现有生产线中,从而允许与合作伙伴系统进行无缝集成。
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