二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9276039 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一款专用的晶圆研磨、研磨、抛光设备，提供高精度的内存和磁性设备阵列。它设计用于精确清洁和抛光单个晶片或批次晶片。该系统采用低压、高压、温水和冷水密封装置，达到最大效率。AMAT Mirra 3400由晶圆制备站和研磨抛光子系统两个主要部件组成。晶片制备站用于在研磨抛光机中加工之前对晶片进行清洁、脱胶和系统化处理。这包括脱胶溶液、磨料和真空工具，以及保护晶片免受损坏的掩模。研磨和抛光子系统包括一个独特的多轴机器人臂，它将晶片从制备站移动到金刚石研磨盘。机器人臂能够精确放置晶片，以确保晶片在整个过程中保持一致的曲率半径。然后将晶片牢固地夹在金刚石研磨盘中，金刚石研磨盘以均匀的表面光洁度旋转晶片。然后将金刚石研磨盘移动到抛光站，在那里晶圆进行进一步的清洁和抛光。该抛光站采用了一系列专门的抛光流体和磨料介质，以达到所需的光洁度和表面轮廓。一旦达到所需的表面光洁度,晶片可以有选择地移动到后处理站,也可以移动到旨在提高特征精度或改进其轮廓的蚀刻站。研磨抛光资产可以针对不同的晶片尺寸进行调整，能够处理各种晶片材料，包括硅、铝、蓝宝石和陶瓷。APPLIED MATERIALS Mirra 3400是一种可靠、高精度的模型，提供快速、高效、全面的晶圆研磨、研磨和抛光工艺。它是内存和磁性器件生产和制图的理想解决方桉，能够产生高质量和一致的表面饰面。