二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9277696 待售
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ID: 9277696
优质的: 2000
CMP System
FABS Cassette system
Mirra polisher
Ontrack cleaner
Missing parts:
(3) Slip rings
Platen 3 lower skin
PC3 End effector
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400是为先进半导体器件制造而设计的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统旨在为制造商提供高通量、高效可靠的精密晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉。该单元支持同步和异步多主轴配置,并利用各种磨料和抛光垫。AMAT Mirra 3400具有模块化体系结构,每个模块都针对特定应用程序进行了优化。机器的主要模块包括主轴、皮带、泵和晶片卡盘组件。主轴具有多个高扭矩的直驱电动机,允许对研磨、研磨和抛光过程进行精确的调整和控制。皮带工具的设计是为了减少振动和弯曲,以确保一致的结果,无论材料。泵的资产为刀头提供冷却剂和磨料,而晶片卡盘组件则保持热量和压力对晶片的均匀分布。APPLIED MATERIALS Mirra 3400还通过其基于PC的集成生产控制实现了高性能自动化。这款集成PC允许控制型号的硬件和软件,包括对工艺参数的调整、对设备状态的监控以及生产数据收集。它还与各种第三方系统和控件集成,提供进一步的自定义选项。该系统的高精度伺服电机提供了出色的粒子控制和动态过程,而完全可编程的过程配方确保了即时启动和改进运行时间。此外,Mirra 3400具有紧凑、符合人体工程学的设计和坚固的结构,可确保长期重复使用的轻松维护和可靠性。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Mirra 3400是一种高度可定制和高效的晶圆研磨、研磨和抛光装置,旨在满足现代设备制造的最高标准。它为用户提供了先进的自动化、可编程配方和一个高度可靠的平台,以确保持续的性能,每次都能取得优异的效果。
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