二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293819 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000晶圆研磨、研磨和抛光设备是由AMAT, Inc.开发和生产的大型自动化生产机器。专为半导体、医疗、研究机构使用而设计，是一个用途广泛、功能强大的单元，目的是高速研磨和抛光各种形状和材料的晶片。该系统包括两个主要组件-主触摸屏控制台和研磨/研磨/抛光单元。这两个组件都通过高速工业网络进行通信,从而实现快速高效的操作。主触摸屏控制台是单元的大脑，包含各种控制研磨/研磨/抛光过程的程序。它包括一个方便用户的界面，用于上载流程映射和设置单元的参数。它还配备了一个配方库，因此所需的修改可以很容易地获得和存储以备将来使用。磨削/研磨/抛光装置是机器的实际工作部件。它们每个都有一个单独的电动主轴，可容纳多达12英寸（300毫米）的晶片。设备上的电动机可根据所需的速度和功率设置单独调节,以便在最短的时间内达到所需的结果。此外，它们还包含水冷磨石、精密研磨轮和圆柱形或圆锥形抛光轮。研磨/研磨/抛光工艺分为三个主要阶段。首先，晶片安装在夹具上，砂轮用来将晶片材料粗糙研磨到中间形状。粗糙磨削完成后，研磨轮用于完成磨削表面，在整个表面产生均匀的磨削，缺陷最小。最后，抛光轮对表面进行抛光，达到理想的反射率、清晰度和光滑度水平。总体而言,AMAT Mirra/AS 2000晶圆研磨、研磨和抛光工具是一种用途广泛、功能强大且高效的工具,可在快速生产环境中生产高质量的晶圆表面。此资产使用户能够以高度的精确度和成功来研磨和抛光多达12英寸（300mm）的晶片。这台机器具有易于使用的图形用户界面、精密的切割和抛光工具以及自动化的过程,可提供高可重复性,且浪费最少。