二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000 #9293821 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra / AS 2000
ID: 9293821
CMP System Titan head.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供高精度研磨,同时保持卓越的吞吐量。这个坚固的平台能够研磨、研磨和抛光尺寸达300毫米的晶片,超精密抛光分辨率高达0.2 μ m。系统特征的精确组合使其成为各种晶圆研磨应用的理想选择,从细粒和高通量基板到铜、铝和掺杂纤维基板,以及玻璃、陶瓷或弹性化合物等复合结构。AMAT Mirra/AS 2000集成了卓越的设计功能,包括可完全调节的研磨、研磨和抛光台,可保持平坦的表面并允许极其精确的运动,从而实现极其可重复的过程。该机组还配备了高精度伺服控制电机,可实现精确研磨、研磨和抛光循环,以及快速加速、减速和速度控制。此外,双压力控制可以准确调整力和速度,以确保最佳研磨和抛光效果。APPLIED MATERIALS Mirra/AS 2000还提供了一套软件附加组件,以减少设置时间和最小化编程时间。这些附加组件包括集成的DrOscillation,这是一个高级圆周运动程序,可自动计算每种材料的最佳切削模式。该机还配备了全4轴数字控制接口,用于研磨台和介质的精确移动,允许全自动操作。此外,该工具还具有广泛的监控和安全功能,可确保安全、高效的研磨过程。Mirra/AS 2000是精密晶圆研磨、研磨和抛光应用的最佳选择。其强大的设计、集成的高级功能和全套软件附件使其成为需要高精度和卓越吞吐量的应用程序的理想资产。
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