二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS #9263082 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS
已售出
ID: 9263082
晶圆大小: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统旨在满足半导体行业的需求,提供更大的灵活性和能力,以支持不断扩大的应用范围。该装置具有较短的循环时间、高通量和精确度,可自动研磨、研磨和抛光直径不超过8英寸的晶片。该机采用先进的工艺控制,精密控制晶圆,操作平稳.AMAT Mirra DNS提供高性能研磨、研磨和抛光功能。该工具有2个磨削和研磨子孔和一个单一的磨削和抛光模块。该子孔径允许更高级别的过程控制,提供改进的晶圆平面化和边缘质量。抛光模组类似单点服务方式,允许整个过程的抛光条件调整,包括表面粗糙度和均匀度。该资产的设计具有强大的流程功能和严格的流程控制。APPLICED MATERIALS Mirra DNS有全自动装卸晶片升降机,可容纳直径达8英寸的晶片,厚度可达100微米。该模型提供了高速伺服驱动的磨削抛光进料设备,具有自动表面控制和空气轴承,以确保光滑和精确的材料去除。该系统具有高级自动化功能。它允许快速、准确地设置多个流程程序。Mirra DNS允许通过直观的图形用户界面(GUI)远程监视和控制研磨、研磨和抛光过程。GUI还为用户提供实时晶片参数,以确保最佳工艺周期和最佳晶片质量。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS设计具有强大的高通量平台,可提供最高的晶圆质量和生产率。该单元使用直接驱动电动机和可编程运动来提供详细的晶圆控制,并确保晶圆吞吐量。自动化机器使用户能够以经济高效的方式实现高水平的精度和统一性。AMAT Mirra DNS是半导体公司努力降低成本和提高效率的重要过程。
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