二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 待售
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ID: 9265796
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于高效加工具有多种研磨介质的脆性材料。该系统用于各种应用，包括生产半导体和MEMS器件。该单元由一个装有磨轮和研磨板的基本单元和一个控制器单元组成，该控制器单元允许用户控制研磨设备并调整参数以满足所需的结果。AMAT Mirra Integra拥有坚固的结构，包括铝制底盘、不锈钢工作板和陶瓷元件。应用于APPLIED MATERIALS Mirra Integra的研磨机精度和精度都很高。磨轮的设计目的是在整个材料表面提供一致的结果。对磨削介质进行了优化，减少了板材磨损，最大限度地减少了工件损坏。此外，研磨介质还能够容纳表面不同的基板。Mirra Integra的研磨板设计为提供均匀的研磨表面，将应力均匀地分布在整个工作表面。这有助于减少工件上的应力,从而降低表面粗糙度并改善零件寿命。研磨板配有两个可调节的夹具，使其能够根据特定的应用要求进行调整。AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra的抛光工艺采用化学和机械方法相结合，达到了高质量的抛光效果。所使用的抛光介质经过精心设计,可实现受控且一致的精加工过程,从而获得非常精确的结果。AMAT Mirra Integra的自动化过程控制机器允许用户调整研磨设备参数以确保最佳效果。控制器还提供工件表面粗糙度的反馈,并且在超出预定阈值时可以触发警报。总体而言,APPLIED MATERIALS Mirra Integra是一种非常先进和可靠的晶圆研磨、研磨和抛光工具,可用于在极少数时间内获得高精度结果。
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