二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400 #9262475 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400
ID: 9262475
CMP System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400是一款先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备,旨在提高晶圆级制造的吞吐量和质量。该系统能够在单个工艺室内处理多达18英寸的晶片。该装置提供高精度的两轴研磨、平面化、研磨和晶片清洗。AMAT Mirra Mesa 3400配备了环保防水闭环Robostop™机。此工具消除了手动干预,并减少了与手动抛光工艺相关的昂贵停机时间。此外,资产还包括一个完全封闭的机械臂,它能够捕获、转移和放置晶片在抛光室内,同时仍然提供对过程的精确控制。该模型提供了对压力、节气门和抛光速度等变量的精确控制。该设备具有高惯性亚微米级研磨板,可实现精确的图样定位和精加工控制。该工艺室采用集成冷却器提供主动冷却,这有助于确保晶片在抛光后迅速冷却。该系统还通过视觉传感器和制造过程数据库提供集成部件识别,以提供完整的可追踪性。APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 3400设计用于大容量晶片制造应用,每小时可处理40多个晶片。该单元由不锈钢底架构成,可进行精确的调平和方便的维护。此外,该机还提供可编程运动控制,允许机器人定位器和压板的精确运动,以确保均匀研磨和抛光。该工具旨在满足半导体和MEMS晶圆制造商的严格要求。该资产提供了用户友好的操作和直观的软件,不需要较长的设置时间和较长的学习曲线。Mirra Mesa 3400提供高吞吐量、卓越性能以及精确的晶圆传输和过程控制。
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