二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293771203 待售
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ID: 293771203
晶圆大小: 6"
优质的: 2011
Chemical Mechanical Polish (CMP) system, 6"
Equipped with integrated NOVA Measurement system
Process: Oxide
Wafer shape: Flat
Factory interface:
Cleaner type: Mesa
Megasonics
WET Robot
Nova 2040 In-line metrology system
Interface: SECS / GEM
Controller CPU Type: 5201
25-Slot cassette
Platen and head options:
Polishing head: (4) Profiler heads, 6"
Consumable retaining ring
Pad wafer loss sensor: Dual sensors with light light pipe
Platen temperature control
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (3) Slurries
No slurry flow monitor
EMO Guard ring
No smoke detector
Circuit breaker: 200 A
Wide type GFI: 30 mA
Spray gun
PC
Mouse
Power supply: 200-230 V, 50/60 Hz
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是晶圆研磨、研磨、抛光设备。它是单一的表面增强的理想选择，以及包括硅（Si）、碳化硅（SiC）和氮化超（GaN）在内的多个晶体半导体底物。它采用双头主轴构建，使其能够同时用于单面和双面应用。它具有跟踪和自动校正功能，这意味着它可以调整主轴的输出，以确保在整个晶片上保持一致的光洁度。该系统采用高功率空气轴承主轴设计，能够保持一致可靠的研磨、研磨和抛光任务而不会产生振动。此外，它有一个内置的视觉单元，使它能够保持一个安全和一致的模具位置。AKT Mirra Mesa也有独特的动力转换机，有助于保持最大扭矩的同时降低电机内的热量。这有助于防止零件损坏,并有助于提高生产效率。该工具还具有易提砂浆供应资产。此模型有助于减少更换抛光板所需的时间,从而使设备更高效地运行。最重要的是，AMAT Mirra Mesa包括一个在线监控功能，包括压力/深度、温度和照明。这使操作员能够确保系统运行最佳,从而提高设备的使用寿命和准确性。APPLIED MATERIALS Mirra Mesa采用高端功能设计,非常适合高产、高批量生产。适用于背磨、研磨、切片、切片、抛光等多种应用。它的设计还考虑了安全功能,例如高安全性盖、操作员联锁机和自动关机,以帮助确保安全操作。Mirra Mesa还配备了一系列配件，包括磨料、盒式磁带和金刚石滚筒，方便各种应用。此外,它方便用户,易于安装和操作,非常适合在各种生产环境中使用。利用AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Mirra Mesa, AKT为客户提供了一个可靠高效的解决方桉,以实现所需的表面光洁度。
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