二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293795368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一种自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供卓越的单纯度和表面光洁度,同时保持较低的芯片数量。该系统能够处理晶片和晶片大小的基板，并具有机器人处理程序和真空拾取和放置单元，以实现晶片对准和自动映射。该机还具有内置CCD成像工具,用于分析晶片表面和定位缺陷,以及自适应光学器件和可定制的研磨/抛光参数。该资产配备了一级研磨工艺，在各类晶圆上实现亚微米表面光洁度。该模型还具有一个多区域研磨/抛光平台，以最高精度同时拉圈/抛光多个晶片。该设备采用三维轮廓、边到边晶圆研磨、中心到中心抛光的独特组合，实现了优越的单面和研磨平面优化。该系统由高扭矩电动机提供动力，可以处理非金属和金属晶片。AKT Mirra Mesa单元还提供了一些高级过程控制功能,以最大限度地提高效率和精度。其中包括在线真空的过程监控、电机控制、过程反馈、温度感测等。该机器与Web监视和远程追踪工具集成在一起，以实现实时数据收集和分析。它还具有高级配方编辑器,可轻松优化过程。该工具能够以高达500 rpm的速度处理1"至8"晶圆和晶圆大小的基板，非常适合光学和平面显示应用等应用。资产还具有防污设计，以消除结转和污染，以及全方位的工艺和设备安全特点。该型号既方便用户又高度自动化，适合各种行业使用。凭借先进的性能和可靠的成果，AMAT Mirra Mesa是市场上最好的晶圆研磨、研磨、抛光系统之一。