二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9040372 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和抛光设备是一种革命性的设备,它为生产精确到微米级的高精度晶片提供了全面的解决方桉。该系统允许对直径不超过200毫米的晶片进行高效研磨、研磨和抛光。除了各种材料的自动化工艺功能外，该单元还提供每个工艺周期后的自动化清洗。采用磨削工艺从晶片中除去多余的材料，使用旋转磨料轮。根据应用要求，可以改变车轮材料、其等级和速度，以达到所需的表面光洁度。研磨工艺用于降低晶圆的表面粗糙度，并通过使用两块中间带有磨料的旋转板来实现。这些板采用受控方式设计，以确保表面粗糙度达到所需值。另外，可以调整板的转速，以提供更均匀的研磨整个晶片。最后，抛光工艺采用化学溶液和研磨垫的组合，使晶片表面光滑平整。AKT Mirra Mesa在整个研磨、研磨和抛光过程中提供了高度的精度和均匀性，以及由于自动清洁机而改善的循环时间。该工具还设计用于处理多种材料，能够产生0.14微米的精度水平。此外，资产配备了先进的诊断模型，允许用户快速识别和解决任何潜在问题。设备由机器本身和与用户的界面两个独立的部分组成。该用户友好界面配备了直观的图形用户界面，能够快速设置和直接控制流程。此外,系统采用模块化方式布置,可以选择添加自定义模块以满足特定的流程要求。AMAT Mirra Mesa可以集成到现有的实验室中,并提供各种选项来根据特定应用自定义设备,从而满足对精度和性能的任何要求。