二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553 待售
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ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于高精度半导体器件的制造和工艺开发。该系统具有精密晶片表面精加工的多种工具，并配有用于实时过程监控的集成过程控制单元。该机器还提供自动晶片加载/卸载、自动过程序列控制和集成电气测试等高级功能。AKT Mirra Mesa工具能够研磨、研磨和抛光尺寸达200毫米的晶片。它还提供了多种工艺配方，包括电合成、去除缺陷、表面平面化、单面和双面抛光等等。资产能够控制和监控压力、速度和温度等过程参数，以确保精确的结果。它配备了具有内置安全特性的自动晶片处理模型和自动旋转晶片表。AMAT Mirra Mesa设备还具有高精度视觉系统，具有先进的图像处理、视觉辅助模式识别以及用于精确晶圆表面评估的计量工具。这个单元提供了对整个过程的准确性和可重复性的完全控制。它还能够控制冲洗过程的进料速率和压力。机器配备了先进的软件和安全功能，以确保操作员和工具在操作过程中的安全。它还具有高级流程控制和监控功能，包括实时流程数据收集。该资产符合各种安全标准,如CE、UL和CSA。该模式还得到AKT致力于为客户提供卓越技术支持和服务的支持。综上所述，Mirra Mesa是一款高精度的晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在满足半导体行业的性能要求。它提供了各种精密表面精加工的工具，以及集成的过程控制系统和先进的视觉系统。符合各种安全标准，为客户提供卓越的技术支持和服务。
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