二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 待售

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图为 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa 待售
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已售出
晶圆研磨、抛光
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Mirra Mesa
ID: 9104952
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
CMP system, 8" System: Dry in / Dry out Process: Cu Software Polisher MB60a1 Cleaner CB22p2 Endpoint IB11h7 CPU Pentium III 400MHz Dual RAID HardDisk Yes HardDisk Size 68GB RAM 128MB Hardware Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200 Cleaner Mesa Indexer Rorze FABS SMIF # FOUP Install: (3) Metrology None Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each Endpoint Laser P1 iScan Endpoint Laser P2 FullScan Endpoint Laser P3 None Polisher Middle Skins Opaque Pad Conditioner type Universal Platen Coating Teflon UPA Standard Chiller No Com Port Server Digi EL160 Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers Slurry in CLC Yes Slurry Arm 4line Polishing Head Titan I Rotary Union 4-port Cross type Cattrack UPA 3 Port Megasonics yes SRD Yes Brush 1 yes Brush 2 yes PM reduction kit blackout covers Splash guard Exhaust blower Magnehelic Pressure Low Level detection kit SRD Exhaust Interlock 2001 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在在一系列晶圆应用中产生最佳性能。该系统由高精度光学研磨机组成，可精确研磨不均匀的表面结石。它具有双轴电机控制单元，提供精确和可重复的磨削运动。该机还配备了提供闭环响应工具的紫外线固化剂。它被设计成快速、精确地将晶片圈入和抛光到完全平坦的表面。可调电源允许量身定制的结果，而真空保护的电子资产则阻止外国材料进入主要工作区域。AKT Mirra Mesa确保了平整晶片和轮廓晶片的出色表面光洁度和精度。它有一个专门的主轴设计，有助于精确的表面光洁度。内置冷却剂模型进一步降低了晶圆热损伤的风险，产生了高质量的结果。此外，该机的双轴电机控制设备被设计为最大限度地减少振动，从而提高刀具寿命。总体而言,AMAT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和抛光系统提供精确度和性能。其先进的冷却技术确保了产品的一致性。内置真空保护单元将污染风险降至最低。机器的双轴电机控制工具进一步减少了振动和刀具磨损。因此,它可以精确地生产出具有理想表面光洁度的扁平晶片和轮廓晶片。
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