二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9117435 待售

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ID: 9117435
CMP system.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是专门为最苛刻的半导体测试而设计的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统是提高晶片表面地形精度的理想之选,可用于切割、涂抹、电镀、抛光等多种制造和试验操作。该单元采用独特的双轴、旋转平台机,可同时研磨、研磨和抛光复合材料,(SiC、SiN等),或玻璃基板。这消除了对多步骤加工操作的需求,这可能会导致不一致(并导致晶圆产量低)。该工具包括三个用于研磨、研磨和抛光的独立控制主轴。这些主轴中的每一个都由一个可编程软件接口控制,允许调整一系列参数和设置以提高操作精度。研磨、研磨、抛光作业均在同一真空室下进行,确保了最高质量的效果。该资产还包括一个可选的自动基板尺寸调整转换器,可用于根据晶圆的大小调整各个纺锤的速度,以达到尽可能最精确和可重复的结果。该转换器还可用于控制和调整特定晶圆研磨型材的交叉研磨机/抛光机压力。除了自动化处理之外,模型还包括一个集成的机器人机械手,使操作员能够手动处理晶圆。这提供了更大的灵活性,并允许用户自定义晶圆工艺以满足特定的需求(即针对不同的蚀刻深度或剖面)。设备还包括先进的实时数据收集和监控功能,使操作员能够快速准确地识别和排除流程问题。此外,该系统能够生成具有详细制造结果的自动化报告,这些报告可用于随时间推移监测和改进生产过程。总体而言,AKT Mirra Mesa是一个顶级晶圆研磨、研磨和抛光装置,旨在提高产量和降低半导体应用的生产成本。该设备先进的自动化、多功能性和实时数据收集功能使其成为复杂的半导体制造和测试操作的重要工具。
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