二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9228448 待售
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ID: 9228448
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
CMP System, 8"
Process application: Oxide & Poly
EMO Type: Push bottom
Status light tower:
Red
Yellow
Green
FABS Configuration:
Type: SMIF / (3) Ports
Robot blade
Robot
No calibration computer
Fan unit
Floppy disk
Polish module:
Head type: Titan I
HCLU
Single wafer loss sensor
(3) Slurry arms type: Short
No facilities interface panel
Pad conditioner type: Cylinder
(3) Pad conditioners
Remote monitor: Table mount
Wet robot
Wet robot blade
Queue tank
Queue tank cassette
(4) Heads
(4) Rotation units
(4) UPA Sets
(4) Spindles
(4) NSK Rotation motors
(4) Head sweep motors
(4) Head sweep slider assemblies
(4) Head clamps
(3) Platens
(3) Platen motors
(3) Platen gearboxes
MESA Module:
Megasonics delivery type: Pressurized
AP50 Pump
Direct BU1 &BU2 Delivery type
No SRD heater lamp
Upper electronics box
Working beam
Input shuttle type: Half-moon
Chemical configuration:
HF
Slurry flow type: Slurry pump
NH4OH
CE Safety mark: English
CIM Configuration: SECS
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 170 A
Frequency: 50-60 Hz
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨、抛光设备是为硅晶片的高精度研磨和抛光而设计的自动化系统。此设备的设计具有超精确的性能和各种选项,包括能够轻松定制技术以满足任何客户的独特需求。这台机器专为高水平的生产力、可靠性和效率而设计。该刀具具有高精度研磨抛光板和恒定循环环境。精密板由独特的非刮擦材料制成，旨在确保质量结果和最小的表面损坏。精密板由可调节的速度驱动电动机驱动，允许精确控制研磨和抛光操作的速度和方向。AKT Mirra Mesa还配备了集成激光干涉仪资产，用于监控研磨速度和精度。激光干涉仪提供了有关研磨操作的确切位置和速率的数据，使模型能够根据需要修改研磨速度和参数，以维持所需的工艺时间。集成的用户友好图形界面使用户可以轻松控制和监控设备。该系统还采用了高精度的喷水泵机，为研磨和抛光作业提供了最佳的水流率。经过优化的喷水机允许更快、更安静、更流畅的研磨操作。该工具还设计有独特的粉尘和颗粒提取器，用于去除研磨和抛光板上的粉尘颗粒和其他污染物。AMAT Mirra Mesa还拥有独特的防尘资产，旨在保护整个包装免受灰尘和其他污染物的侵害。此外,该型号还配备了先进的冷却设备,可快速冷却板材并最大程度地减少与热量相关的问题。APPLICED MATERIALS Mirra Mesa晶片研磨、研磨、抛光系统是一种精密精密研磨、抛光硅片的工程解决方桉。集成的用户友好图形界面和广泛的选项允许简单高效的晶圆制备。该设备的先进技术确保了生产硅片的质量、可靠性和生产率,并具有快速的周转时间。
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