二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232743 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于精确研磨、研磨和抛光半导体晶圆。该系统由一个底架、一个晶片处理机器人、一个三轴龙门、两个主轴驱动器以及一个集成的晶片磨床和抛光器组成。晶圆操控机器人具有X、Y、Z轴的运动特性，可以高达1 m/s的速度运行，具有亚微米定位的重复性。它能够拾取和加载晶片，并配有一个力控进料器，用于操作员控制进料速率。机器人还配备了安全联锁装置，以确保操作员安全，并帮助保护单位免受处理不当或其他事故的影响。三轴龙门用于定位研磨和研磨主轴以及晶圆机器人。它具有X、Y和Z运动轴,定位精度高达0.01mm。由两台独立的高扭矩直流电动机驱动，由先进的运动控制器控制。两个主轴驱动器用于旋转研磨和研磨主轴,其特点是研磨主轴的变速驱动器高达1400 RPM,研磨主轴的变速驱动器高达8200 RPM。这台机器还配备了自动晶片研磨机和抛光机，用于将晶片膝盖和抛光到预定的厚度和表面光洁度。这是通过使用一个加工头和磨料膜来完成的，它能够达到高达3 µm的加工精度，可重复性高达0.3 µm。AKT Mirra Mesa是一种自动化工具，设计用于精密研磨、膝盖和抛光半导体晶片，具有高端运动控制资产、两个主轴驱动器以及自动晶片研磨器和抛光器。其优越的位置重复性和准确性，以及实现精确晶圆厚度和表面光洁度的能力，使其成为各种晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想模型。