二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa晶片研磨、研磨和抛光设备是一个自动化平台，旨在有效处理半导体晶片。该系统具有高达200晶片/小时的吞吐量,并且能够通过单一封装配置进行研磨、研磨和抛光。高级控制单元允许跨多个平台进行过程监控和统计过程控制（SPC）功能,同时利用高级机器人控制软件提供对过程的最佳控制和准确性。AKT Mirra Mesa配备了多种组件，以确保晶圆的精确处理。这包括高速晶片卡盘、健壮的机器人手臂、磨头和多轴床。床具有三维运动特点，设计用于在整个过程中保持稳定的基板位置。机器人臂通过提供拉力控制、速度调节和振动阻尼，帮助进一步优化过程。磨头的设计目的是利用固定的半径优化晶片的地形,并装有硬质合金刀片,以确保精度和防止晶片表面因过度摩擦而损坏。此外,AMAT Mirra Mesa还提供了该机器独有的过程控制功能。这包括编程特定研磨时间、速度、砂砾大小和其他参数的能力。它还配备了晶圆旋转机构，以确保最大均匀度达到最佳表面光洁度。控制工具还允许用户存储可以从中导出处理参数的配方,以实现最佳的流程可重复性。该资产确保了每个晶片的高质量和可靠的光洁度。这包括高度的尺寸精度以及表面光洁度。它还能够在金属、氧化物和其他薄膜沉积之前产生更好的平面光洁度。Mirra Mesa非常适合半导体行业以及研发应用。