二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9398753 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa
ID: 9398753
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
CMP System, 8" 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa是一种尖端晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为半导体制造和测试过程提供可靠、可重复和准确的结果。该系统使用旋转磨轮、化学机械抛光(CMP)浆料和磨料研磨浆料来制造晶片。晶片磨削包括以小的受控运动将晶片靠在磨轮上,以达到一致的表面光洁度。在研磨过程之后,研磨过程用于平滑任何不规则现象并产生均匀的表面。研磨过程由一种泥浆组成,泥浆中的磨料颗粒循环到晶片上,而轮子则以圆周运动的方式向晶片移动。最后,抛光工艺包括可选地在浆料中添加更多的磨料和抛光剂,并在连续过程中对晶片进行轮压。这将在晶片上创建一致且高度精确的光洁度。AKT Mirra Mesa配备了一个控制单元,用于管理工艺参数,晶圆实时监控和计量显示,以及与外部计量仪器的接口。此外,该机器还通过全面的故障检测和过程运行时检查来提供高性能和高产率。该工具还带有自动晶片制备,使晶片清洗和光刻过程自动化,进一步简化和优化了整个材料表面制备过程。AMAT Mirra Mesa为制造高精度晶片提供了一种高效、经济高效的方法。其广泛的能力使其适合于大多数晶圆研磨、研磨和抛光工艺,其控制和监测系统使结果具有准确性、一致性和可重复性。此外,它的自动化晶片制备过程有助于简化整个材料表面制备过程。
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