二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9064388 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak是为半导体制造和MEMS/NEMS生产而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用精密的机械设计、先进的计量技术和一系列集成的工艺配方来实现纳米级表面地形。首先，该单元由一个自动化平台组成，可以在受控方向上精确定位两个旋转金刚石磨削点之间的晶圆。这使得精确的晶圆研磨和研磨过程能够并行完成。机器还提供抛光操作，涉及化学机械平面化（CMP）过程，需要不同的抛光运动路径和序列。该工具还具有高分辨率的可编程机器人资产，可以快速、自动地识别和测量晶圆的确切表面特征，并确定合成地形的准确性。这确保了磨削和抛光工艺的精确应用。该模型包括一个具有特殊晶圆冷却机构的真空室，以确保晶圆温度最佳，减少污染物或颗粒附着在表面。真空室还能在抛光过程中实现晶片表面的超高平面化。最后，安装了像素阵列摄像机设备，以精确测量晶片的表面特征和整个晶片表面的均匀性。这改进了流程控制,允许用户在必要时快速调整流程参数。总体而言，AMAT Mirra Ontrak系统提供了一套一致、可靠和可重复的晶圆研磨、研磨和抛光工艺，这对于制造先进的半导体和MEMS/NEMS器件至关重要。其高度自动化、多方面的设计使其既具有用户价值又具有成本效益,同时仍实现了高质量的表面光洁度。